臭氧發(fā)生器中廣泛使用，但制造成本較高。按臭氧發(fā)生器結(jié)構(gòu)劃分，有間隙放電式（DBD）和開放式兩種。間隙放電式的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是臭氧在內(nèi)外電極區(qū)間的間隙內(nèi)產(chǎn)生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。開放式發(fā)生器的電極是裸露在空氣中的，所產(chǎn)生的臭氧直接擴(kuò)散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發(fā)生器可代替開放式發(fā)生器使用。但間隙放電式臭氧發(fā)生器成本遠(yuǎn)開放式。

臭氧發(fā)生器系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，能防止大量水進(jìn)入到發(fā)生器內(nèi)。
水封供氣壓縮機(jī)用的浮閥或空氣干燥器上的凝結(jié)水閥阻塞卡住，都會(huì)造成發(fā)生器電暈室內(nèi)灌水。電暈室內(nèi)大量進(jìn)水可導(dǎo)致電暈集中、高電流密度和局部電介體發(fā)熱，造成介電體過早失效。即使檢測(cè)裝置在水進(jìn)入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質(zhì)也會(huì)沉積在元件表面上，這些雜質(zhì)在繼續(xù)運(yùn)行之前予以清除。運(yùn)行故障或操作錯(cuò)誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發(fā)生器內(nèi)，至少會(huì)造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統(tǒng)設(shè)計(jì)和操作規(guī)程阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進(jìn)入發(fā)生器內(nèi)。

電解式發(fā)生器： 該類臭氧發(fā)生器通常是通過電解純凈水而產(chǎn)生臭氧。這種發(fā)生器能制取高濃度的臭氧水，制造成本低，使用和維修簡(jiǎn)單。但由于有臭氧產(chǎn)量無法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點(diǎn)，其用途范圍受到限制。這種發(fā)生器只是在一些特定的小型設(shè)備上或某些特定場(chǎng)所內(nèi)使用，不具備取代高壓放電式發(fā)生器的條件。

紫外線式臭氧發(fā)生器 ： 該類臭氧發(fā)生器是使用特定波長(zhǎng)(185mm)的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產(chǎn)生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產(chǎn)量低、使用壽命短，所以這種發(fā)生器使用范圍較窄，常見于消毒碗柜上使用。

放電式臭氧發(fā)生器： 為了改善放電狀況、提高放電效率,人們研究了如線狀、刷狀、螺線狀、網(wǎng)狀、水不同形式的電極。且放電形式局限于無聲、脈沖流注、電暈、沿面、無聲-沿面混合及輝光放電等形式 。 無聲放電(即介質(zhì)阻擋放電)的電介質(zhì)是無聲放電臭氧發(fā)生器的重要組成,其作用為強(qiáng)化氣隙的電場(chǎng)強(qiáng)度以利于產(chǎn)生放電;防止氣隙擊穿,同時(shí)減小功率消耗;使氣隙的電場(chǎng)均勻,擴(kuò)大放電區(qū)域,利于臭氧的產(chǎn)生。一般而言,電介質(zhì)的介電系數(shù)越高,導(dǎo)熱性能越好越利于產(chǎn)生臭氧。臭氧發(fā)生器所用的電介質(zhì)主要有石英玻璃、陶瓷、搪瓷、有機(jī)材料等多種類型。

電解池式臭氧發(fā)生器： 由于電極材料、電解液與電解機(jī)理方面的大量研究工作,電解法臭氧發(fā)生技術(shù)進(jìn)展很大。近期發(fā)展的SPE(固態(tài)聚合物電解質(zhì))電極與金屬氧化催化技術(shù),使用純水得到φ(O3)>14%的高濃度臭氧,使電解池式臭氧發(fā)生器的技術(shù)跨越了一大步。 Shiue,Lin-Ren等人的臭氧發(fā)生器電解池專利中用鈦電極板外表面覆蓋鉑層作為陰極,β-PbO2覆蓋的電極板作為陽(yáng)極,電池與超大電容器一起作為直流電源,電極上不需覆蓋其它薄膜,電解液用中性的鹽如NaCl來促進(jìn)臭氧氣體的產(chǎn)生。